PECVD管式爐可使用1200度以下，以硅碳棒或電阻絲為加熱元件，主要特點(diǎn)是分為上下兩個半圓，在高溫狀態(tài)下需要急速冷卻或換管子時，可以打開爐膛，觀察物料在高溫狀態(tài)下燒結(jié)狀態(tài)；雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，能快速升降溫，爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料，該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。此款開啟式管式爐也可以有單管、雙管、臥式、可開啟式、立式、單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等多種管式爐型。
PECVD管式爐的主要特點(diǎn)：
1.氣體預(yù)熱——增加前端氣體預(yù)熱區(qū)，沉積速度更快，成膜效果更好；
2.AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進(jìn)行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制——科探AIO控制系統(tǒng)；
3.管內(nèi)壓力自動平衡——管內(nèi)壓力實(shí)時監(jiān)測，自動平衡管內(nèi)壓力。
4.智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷，省時省力；
5.射頻功率和開關(guān)定時控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時間，自動運(yùn)行；
6.爐膛移動速度可調(diào)——根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求，用戶可設(shè)定爐膛左右移動的速度可距離；
7.整機(jī)結(jié)構(gòu)融為一體——移動方便，避免分散組裝的困擾。
PECVD管式爐的使用安全性：
1、爐膛開啟自動斷電功能，使?fàn)t門打開后自動斷電。
2、超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值后，自動斷電及報(bào)警。
3、漏電保護(hù)功能，當(dāng)爐體漏電時自動斷電。以上功能確保了使用的安全性。
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